纯蒸汽灭菌设备是利用机械的作用，在通入蒸汽前预先将灭菌器柜内和物品包内约98%的冷空气抽出，达到预真空状态，再进行蒸汽通入，蒸汽与灭菌器室内冷空气置换，如此反复3次以上或再进行正压蒸汽脉冲，使冷空气得到排除，蒸汽迅速穿透灭菌的物品并达到灭菌温度。冷空气的存在是造成灭菌失败的主要因素，由于冷空气排出比较*，蒸汽穿透迅速，具有灭菌快速的优点。在一定压力下产生的蒸汽、湿度高、穿透力强，能够迅速有效地杀灭微生物，使菌体蛋白质凝固代谢发生障碍，导致细菌死亡。目前，仍为消毒供应中心使用的主要灭菌设备。适用于耐湿、耐热材料的器械灭菌处理，例如金属类、玻璃类、橡胶类等。
纯蒸汽灭菌设备的洁净保证：
(1)纯蒸汽除可由用户提供外，也可由灭菌柜附带的纯蒸汽发生器提供。即纯蒸汽管路采用“长流水、长流汽”的原理设计，保证了纯蒸汽的洁净度。纯蒸汽进入柜室前，先通过汽液分离器，以保证蒸汽的饱和度，再经0.22m过滤器过滤，确保纯蒸汽无菌、无热原和无微粒。同理，注射用水使用前也需经0.22m过滤器过滤。采用注射用水进入灭菌柜内室，利用夹套加热直接产生纯蒸汽的工艺，简化管路系统，提高工效，节约能源。自供纯蒸汽的灭菌，可避免外供纯蒸汽由于较长距离的管路输送及保温因素等导致的散热与压损，或含水量较高达不到饱和蒸汽的品质要求，从而导致灭菌温度的降低及影响灭菌效果的可靠性。
(2)采用百级洁净区的洁净空气作为灭菌柜室的补充气体用于灭菌后物品的冷却，防止普通空气的补充对灭菌后物品的二次污染。
(3)所有排放口均装有高性能的止回阀和防倒流过滤器，可使各排放管汇总后排入下水道。排放总管上高密封性能的切断阀，以备灭菌柜停车时能切断与下水道的连接，起到双保险的作用。
(4)纯蒸汽灭菌设备所有纯蒸汽、注射用水、补充空气均采用316L不锈管和卫生级隔膜阀等，并采用快开式卡箍接口，达到卫生级要求，又便于拆卸与清洗。
