过热蒸汽瞬时灭菌采用高温过热蒸汽来灭菌，即利用温度为130 摄氏度～160 摄氏度的过热蒸汽喷射于需灭菌的物品上，数秒钟即可完成灭菌操作，目前过热蒸汽灭菌技术仅适用于耐热食品包装容器(如金属制品、玻璃制品等)的灭菌。
其方法是当空罐在输送链上通过杀菌室时，过热蒸汽从上下喷射45 秒，这时罐温上升到221 摄氏度～224 摄氏度，罐盖也采用287 摄氏度～316 摄氏度的过热蒸汽杀菌75 秒～90 秒，这样的高温足以杀灭全部的耐热细菌。由于所有容器和设备均采用过热蒸汽杀菌，因此无菌程度高，罐头内部顶隙残留空气极少，且处于高真空状态，产品的质量安全可靠。
蒸汽灭菌按它的灭菌温度分为：
1、低高温长时灭菌法：此方法的灭菌温度为121℃，蒸汽压力为1.4kg/c㎡,灭菌时间为30min。
2、亚高温短时灭菌法：此方法的灭菌温度为132℃，蒸汽压力为3.2kg/c㎡,灭菌时间为5min。
3、高温瞬间灭菌法：加热温度为：135-210℃；加热时间为：2-8S;加热后产品达到药典无菌要求的杀菌过程称为UHT灭菌。是利用热交换或直接蒸气加热杀菌后，迅速冷却的杀菌方法，该方法杀菌效率高，物料产生的物理、化学变化小。
在六十年代成功用于牛奶的灭菌，将牛奶在15-20min内加热到80℃，继后迅速将温度提高至140-150℃，约5S，然后在15-20S内将牛奶迅速冷却至室温，灭菌后的牛奶在经无菌包装系统后，在室温条件下，不加任何的防腐剂保鲜能达半年以上。由于加热时间极短，它除了杀灭所有细菌外，牛奶的原色、原味、营养素都保留下来。
